半導体プロセスにおける重要な化学物質の濃度を確実に監視するにはどうすればよいでしょうか?このウェビナーでは、新しい「LiquiSonic」がどのように機能するかを示します。® センサー SC' はリアルタイムで濃度を測定し、温度補正され、プロセス内で直接メンテナンスが不要です。これにより、透明性が高まり、プロセスがより安定し、一貫して高い製品品質が実現します。
このウェビナーでは、次のことを学びます:
- リアルタイム濃度測定により半導体プロセスがどのように安定するか:
従来の実験室分析ではなぜ遅すぎることが多いのか、そして連続インライン測定が濃度偏差を即座に検出し、プロセスをより確実に制御するのにどのように役立つかを学びます。
- センサーの仕組みと、なぜこれほど正確に測定できるのか:
このウェビナーでは、音速ベースの温度補正された測定がどのように機能するか、またそれをプロセス内で直接高精度に濃度を決定するためにどのように使用できるかについて説明します。
- このソリューションが適しているのはどの化学物質とプロセスステップですか:
参加者は、洗浄、エッチング、SC-1、SC-2、SPM、DHF、BOE/BHF、TMAH などの現像プロセスなど、半導体業界の典型的なアプリケーションの概要を学びます。
- さらに複雑なメディアを安全に監視する方法:
3 成分系で別の物理量を使用して複数の濃度を明確に決定し、それによって複雑な化学プロセスの透明性を高める方法を学びます。
- これによりシステム運用にどのような具体的なメリットがもたらされるか:
これは、リアルタイム データがどのように化学物質の消費量、研究室の労力、スクラップと再作業を削減できるか、またメンテナンス不要の測定技術がシステムの可用性とプロセス効率を同時に向上させる方法を示しています。
