반도체 공정에서 중요한 화학물질의 농도를 어떻게 안정적으로 모니터링할 수 있습니까? 이 웨비나에서는 새로운 'LiquiSonic'이 어떻게 작동하는지 보여줍니다.® 센서 SC'는 실시간으로 농도를 측정하고 온도가 보상되며 공정에서 직접 유지 관리가 필요하지 않습니다. 이를 통해 투명성이 향상되고 프로세스가 안정적이며 지속적으로 높은 제품 품질을 얻을 수 있습니다.
이 웨비나에서 배울 내용은 다음과 같습니다.
- 실시간 농도 측정을 통해 반도체 공정을 더욱 안정적으로 만드는 방법:
기존 실험실 분석이 종종 너무 늦게 이루어지는 이유와 지속적인 인라인 측정이 농도 편차를 즉시 감지하고 프로세스를 보다 안정적으로 제어하는 데 어떻게 도움이 되는지 배우게 됩니다.
- 센서의 작동 방식과 센서가 그렇게 정확하게 측정하는 이유:
웨비나에서는 음속 기반 온도 보상 측정의 작동 방식과 이를 프로세스에서 직접 높은 정확도로 농도를 결정하는 데 사용할 수 있는 방법에 대해 설명합니다.
- 어떤 화학 물질 및 프로세스 단계에 솔루션이 적합합니까?
참가자들은 SC-1, SC-2, SPM, DHF, BOE/BHF 또는 TMAH와 같은 세정, 에칭 및 개발 프로세스와 같은 반도체 산업의 일반적인 응용 분야에 대한 개요를 받습니다.
- 더욱 복잡한 미디어를 어떻게 안전하게 모니터링할 수 있습니까?
3성분 시스템에서 또 다른 물리량을 사용하여 여러 농도를 명확하게 결정하고 이를 통해 복잡한 화학 공정에서 투명성을 높이는 방법을 배우게 됩니다.
- 이것이 시스템 운영에 어떤 구체적인 이점을 가져다 주는가?
이는 실시간 데이터가 어떻게 화학 물질 소비, 실험실 노력, 폐기 및 재작업을 줄일 수 있는지와 유지 관리가 필요 없는 측정 기술이 시스템 가용성과 프로세스 효율성을 동시에 향상시키는 방법을 보여줍니다.
